真空係統常用名稱

真空係統常用名稱

1.主泵：在真空係統中，用於獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵
，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

2.前級泵：用於維持某一真空泵前級壓強低於其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

3.粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，並將係統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

4.維持泵：在(zai)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)，氣(qi)量(liang)很(hen)小(xiao)時(shi)，不(bu)能(neng)有(you)效(xiao)地(di)利(li)用(yong)前(qian)級(ji)泵(beng)。為(wei)此(ci)配(pei)置(zhi)一(yi)種(zhong)容(rong)量(liang)較(jiao)小(xiao)的(de)輔(fu)助(zhu)泵(beng)來(lai)維(wei)持(chi)主(zhu)泵(beng)工(gong)作(zuo)，此(ci)泵(beng)叫(jiao)維(wei)持(chi)泵(beng)。如(ru)擴(kuo)散(san)泵(beng)出(chu)口(kou)處(chu)配(pei)一(yi)台(tai)小(xiao)型(xing)旋(xuan)片(pian)泵(beng)，就(jiu)是(shi)維(wei)持(chi)泵(beng)。